三坐標測量機的結構形式可概括為幾大類:由平面測量的原理發展來的懸臂式、橋框式和龍門式,這三種通常被稱作坐標測量機,簡稱為CMM;由鏜床發展來的立柱式和臥鏜式,這兩種測量機通常被稱作萬/能測量儀,簡稱為UMM;由測量顯微鏡演化而成的設備類型,又被稱作三坐標測量儀;極坐標式,它是在極坐標的原理發展來的。
三坐標測量機是上世紀中后期發展起的一類高效化的新式精密測量設備,現階段被廣泛運用于機械設備、智能電子、車輛、飛機等工業領域,它不僅僅用作精確測量各類機械零部件、模具等的外形尺寸、孔位、孔中心距及其各種形狀的輪廓,尤其適用精確測量含有空間曲面的部件。因為三坐標測量機有著高精確度、高效化、測量區域大的優勢,已成為了幾何量測量儀器的一種關鍵發展方向。
三坐標測量機的精確測量過程,是由測頭按照三個坐標軸導軌在三個空間方向隨意運動完成的,在測量區域內可達到任意一個測量點。